激光共聚焦顯微鏡
生產(chǎn)廠家：日本OLYMPUS
設(shè)備型號：LEXT OLS4100
安放地點(diǎn)：昌平創(chuàng)新園南樓111
負(fù)責(zé)人：王麗麗
聯(lián)系電話：010-62332598-6111
主要功能：
LEXT OLS4100激光共聚焦顯微鏡采用405nm 的短波長激光和高數(shù)值孔徑的物鏡，通過非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測量。它采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測器，使得具有不同反射率材料的樣品，也能獲得鮮明的影像，它的平面分辨率可達(dá)12μm，最高可分辨10nm的高度差，可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。它可以方便快捷地獲取影像，同時(shí)配備豐富的測量功能。
主要技術(shù)參數(shù)：
光源：405 nm 半導(dǎo)體激光
檢出系統(tǒng)：光電倍增管
總倍率：108×～17,280×；光學(xué)變焦1×～8×
平面分辨率：0.12μm；重復(fù)性：0.02μm；
正確性：測量值的±2%以內(nèi)
高度分辨率：10nm；重復(fù)性：0.012μm；
正確性：0.2＋L/100μm以下（L＝測量長度μm）
物鏡：明視場平面半消色差透鏡5×、10×LEXT專用平面復(fù)消色差透鏡20×、50×、100×
Z 對焦部分行程：100mm
XY電動(dòng)載物臺：100×100mm
主要應(yīng)用：
1. 獲取樣品表面的二維及三維影像；
2. 測量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異，輪廓測量也同樣可用；
3. 測量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度；
3. 拼接功能獲取樣品全貌圖像；
4. 面積/體積測量：根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測量其上部或下部的體積；
5. 一鍵操作制作報(bào)表功能。
實(shí)驗(yàn)室預(yù)約 ：