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熱場發(fā)射環(huán)境掃描電鏡

環(huán)境掃描電鏡.jpg

生產(chǎn)廠家:美國FEI

設備型號:Quanta FEG 450

安放地點:昌平創(chuàng)新園南樓102

負責人:段曉鴿

聯(lián)系電話:010-62332598-6102

主要功能

該設備綜合場發(fā)射電鏡高分辨和ESEM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢,適用對各種樣品表面形貌、成分、取向等進行高分辨的觀察和分析,包括導電樣品、不導電樣品、含水含油樣品、放氣樣品、加熱樣品、冷卻樣品等。除了對樣品進行靜態(tài)觀察之外,還可對樣品進行動態(tài)過程的觀察和分析,如樣品脫水、增濕、加熱、凝固等過程。廣泛應用于金屬材料、無機非金屬材料、冶金、汽車、生物、醫(yī)學、刑偵技術(shù)等研究開發(fā)領域。

主要技術(shù)參數(shù)

真空模式:高真空模式、低真空模式、環(huán)境真空模式

分辨率:1.0nm@30kV(高真空模式)

1.4nm@30kV(低真空模式)

1.4nm@30kV(環(huán)境真空模式)

放大率:10×~1,000,000×

加速電壓:0.2kV~30kV

探針電流:最大200nA

樣品臺:行程:X=Y=100mm;Z=60mm

旋轉(zhuǎn):360°連續(xù)

傾斜:-5°~+70°

配置

1.探測器

ETD:二次電子探頭(高真空模式)

LFD:二次電子探頭(低真空模式)

GSED:二次電子探頭(環(huán)境掃描模式)

BSED:背散射電子探頭

2.X射線能譜儀(EDS)

型號: TEAM EDS(EDAX)

能量分辨率:125eV@MnKα

探測元素范圍:Be4-U92

3.電子背散射衍射(EBSD)分析系統(tǒng)

型號: Hikari XP(EDAX)

取向精度:優(yōu)于0.1°

采集速度:650 Hz(點/秒)

4.熱臺

溫度范圍:23℃-1500℃

加熱速度:≤50℃/min

溫度控制精度:~25℃

冷卻:循環(huán)水冷

氣體類型:水蒸氣、空氣、氮氣、其他氣體

實驗室預約

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